SF6氣體回收裝置的真空泵。

  （1）真空度不高的原因和消除方法

  SF6氣體回收裝置真空泵出口檢查，全壓強不高，旋去加油塞無明顯漏氣聲，可能存放不當，有水汽進入泵內，應更換新油。

  無漏氣聲，換油無效，應檢查閥座上小油孔是否堵塞，小孔位置在泵的短閥片處月形槽內。

  接入系統后真空度不高，可能是系統接頭，管道閥門，各類設備有漏氣，應逐一捉漏檢查，排除故障。

  SF6氣體回收裝置泵未經拆卸清洗，突然出現撞擊聲，真空度下降，可檢查旋片彈簧是否折斷，或有無異物進入泵內。

  泵使用日久，真空度漸有下降，可能是潤滑油混入可凝性氣體和潤滑油裂介變質，以及零件老化所致，可用換油、換零件，逐一試驗。

  泵拆裝后，有大漏氣聲，可能是橡膠件裝配不當，損壞，應調整或更換。

  SF6氣體回收裝置排氣閥片老化變形、損壞或螺釘拉脫，會出現異樣氣聲和油面的顯著泛動，也會影響真空度，應調整重裝。

  以上措施均無效，又無漏氣聲，可能使用日久，零部件磨損或受腐蝕所致，也可能是轉子變形，精度降低，甚至轉子、旋片等零件損壞，應拆開檢查，修整或換上新零件。