首先對操作人員進行嚴格培訓和要求。SF6高壓電器設備的檢修人員須經專業訓練，熟悉設備內部結構; 使用單位的專業技術人員必須編制切合實際的檢修工藝規程。SF6高壓電器設備解體檢修，應在大氣濕度低于60%的干燥天氣進行，同時注意防止灰塵、雜質和水分侵入其內部，必要時不斷地向檢修的氣室通入干燥的熱空氣，以保持內部干燥。在設備方面，要注意以下幾點：

  1. SF6氣體的回收、凈化、儲存

  這是解體檢修中必經環節，必須用專用回收裝置完成，氣體中水份和SF6氣體分解產物通過凈化器被吸附，使氣體在回收過程中被凈化，并避免SF6氣體外逸，污染工作環境;另一方面必須事先噴刷管路，嚴防水份、油和空氣等雜質混入SF6氣體，降低氣體絕緣。回收凈化后的SF6氣體經壓縮，儲存于SF6氣瓶中。

  2. 滅弧室的檢修

  滅弧室檢修應按制造廠說明書、檢修工藝規程進行，主要是檢查噴口燒傷程度，按規定確定是否更換，相對運動的部位均涂滑脂，涂層不宜太厚，滅弧室部件一定要注意清潔，嚴防灰塵、水分、纖維物質等進入內部。

  3. 部件間的密封面

  密封圈、密封面、密封槽等用無水酒精擦洗干凈，并涼干。密封面、槽光亮潔凈、無劃痕、無銹斑，密封環均更換，保存期1年以上一般不能使用。為了增加密封可靠性，密封圈、密封面(槽)應涂以適量密封脂，現場特別注意，硅脂不能用于SF6高壓電器中。

  4. 抽真空及氣室的干燥處理

  檢修前必須抽真空，主要為了排出設備內部殘存的SF6氣體及分解產物，除去氣室中組件及外殼表面的吸附水，用高純度氮氣或干燥空氣吹洗氣室、管路、組件的附著物，為重新充入SF6氣體做準備。檢修后的滅弧室在裝入吸附劑之后，立即抽真空，以免吸附劑吸附空氣中的大量水份而失效。抽真空檢漏表顯示密封不良時，可以向設備內充入干燥的SF6、氮混合氣體，重新處理后，再抽真空。如果在重新處理密封過程中，吸附劑在空氣中暴露時間長時，應立即更換。

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